一种高精度压电陶瓷扫描器
基本信息
| 申请号 | CN201610535874.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN107589276A | 公开（公告）日 | 2018-01-16 |
| 申请公布号 | CN107589276A | 申请公布日 | 2018-01-16 |
| 分类号 | G01Q30/00 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 熊启红;张贤;朱峥嵘;黄大刚 | 申请（专利权）人 | 苏州海兹思纳米科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 215123 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号纳米城西北区02幢207室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及到电镜技术领域，尤其涉及一种高精度压电陶瓷扫描器。该高精度压电陶瓷扫描器，包括支架、压电陶瓷管本体、外壳、盖子、导线一、导线二、连接器和陶瓷管，所述支架固定在外壳的一端内部。本发明所涉及的一种高精度压电陶瓷扫描器，在保证了扫描精度的同时，它的工艺制作简单，成功率高，同时成本较低，应用在扫描隧道显微镜和扫描探针显微镜上，适合产业化生产。 |
