一种刚度可调的气浮导轨
基本信息
| 申请号 | CN202111197728.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113833765A | 公开（公告）日 | 2021-12-24 |
| 申请公布号 | CN113833765A | 申请公布日 | 2021-12-24 |
| 分类号 | F16C32/06（2006.01）I | 分类 | 工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热; |
| 发明人 | 陈万群;滕翔宇;霍德鸿;陈高强;丁辉 | 申请（专利权）人 | 江苏集萃精凯高端装备技术有限公司 |
| 代理机构 | 北京睿智保诚专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 龙涛 |
| 地址 | 215335江苏省苏州市昆山开发区中小企业园风琴路108号5号厂房101室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种刚度可调的气浮导轨，涉及超精密机械技术领域。包括导轨和溜板，导轨包括凹腔和支撑部，支撑部设置于凹腔顶部两侧，溜板包括水平部和垂直部，水平部与支撑部相平行，水平部与支撑部之间具有第一气膜间隙，垂直部设置于水平部底侧，凹腔底部设置线圈，垂直部上设置电磁铁，水平部顶端设置调节腔，调节腔内设置气压调节器，气压调节器为磁致伸缩执行器，磁致伸缩执行器的伸缩方向对应线圈的磁场方向。本发明提供的气浮导轨，通过电磁铁和线圈相互作用，使导轨与溜板靠近或远离，调节气浮导轨的承载力，通过气压调节器在调节腔伸长或缩短，控制调节腔内气压，改变第一气膜间隙内气体压力大小对气浮导轨刚度进行调节。 |
