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一种离轴非球面反射镜零位补偿检测非线性误差校正方法

基本信息

申请号 CN202111006117.7 申请日 -
公开（公告）号 CN113776455A 公开（公告）日 2021-12-10
申请公布号 CN113776455A 申请公布日 2021-12-10
分类号 G01B11/24（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 郝三峰;张建;韩路;杨芝艳;安飞 申请（专利权）人 西安科佳光电科技有限公司
代理机构 西安智邦专利商标代理有限公司 代理人 赵逸宸
地址 710119陕西省西安市高新区新型工业园信息大道17号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明属于离轴非球面反射镜零位补偿检测校正方法，为解决目前零位补偿非线性误差校正方法中，光学校正造成检测系统进一步复杂化，图像校正中，Fiducial功能标定校正精度较低，基准蒙片法制作、安装和使用较为复杂，推导求解非线性误差精度不易控制且推导较为复杂的技术问题，提供一种离轴非球面反射镜零位补偿检测非线性误差校正方法，仅需在检测系统中确定被测镜母镜中心点位置，并对应在像面上获得像面中心点位置，结合光学设计软件逆向光线追迹获得非线性误差变化规律，再结合一般的数据处理，即可实现干涉检测数据非线性误差的高精度校正。