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一种大面积光子发生喷头

基本信息

申请号 CN202010678925.7 申请日 -
公开（公告）号 CN111906093A 公开（公告）日 2020-11-10
申请公布号 CN111906093A 申请公布日 2020-11-10
分类号 B08B7/00(2006.01)I 分类 清洁;
发明人 徐飞;邬治国;沈健 申请（专利权）人 常州瑞择微电子科技有限公司
代理机构 北京高沃律师事务所 代理人 韩雪梅
地址 213000江苏省常州市长江北路25号2号楼5楼西
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开一种大面积光子发生喷头，属于紫外光清洗技术领域，包括安装底座、石英腔体、紫外线发射组件及药剂喷淋头，紫外线发射组件外部套设有密封腔体，密封腔体一侧倾斜设置形成喷淋面，石英腔体底部开设出液孔，药剂被喷淋在喷淋面上，经紫外线均匀照射后生成高浓度OH自由基并从出液孔排出。本发明结构简单合理，通过设置密封腔体，可有效避免药剂直接与紫外线发射组件等其他部件接触，而造成的部件腐蚀；通过在密封腔体上设置倾斜喷淋面，可使药剂在喷淋面均匀铺洒，增加紫外线辐照面积，进而提高紫外辐照强度并提高清洗效果，该喷头有利于高浓度OH自由基的产生，实用性强。