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高浓度臭氧水检测装置及方法

基本信息

申请号 CN202011013543.9 申请日 -
公开（公告）号 CN112067568A 公开（公告）日 2020-12-11
申请公布号 CN112067568A 申请公布日 2020-12-11
分类号 G01N21/33(2006.01)I 分类 测量；测试;
发明人 徐飞;顾建波;沈健;邬治国 申请（专利权）人 常州瑞择微电子科技有限公司
代理机构 北京高沃律师事务所 代理人 王富强
地址 213000江苏省常州市新北区长江中路25号2号楼5楼西
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开一种高浓度臭氧水检测装置及方法，装置包括：流量控制器、脱气装置、混合件、第一调压阀、第二调压阀、第三调压阀以及流量计，混合件第一端设有纯水通道，第二端设有与纯水通道相对设置且相互连通的臭氧水通道，臭氧水通道的直径小于纯水通道直径，混合件上还设有与纯水通道连通以供混合液体流出的混合液通道，第一调压阀、脱气装置和流量控制器依次连接，且流量控制器连接于纯水通道上，第二调压阀连接于臭氧水通道上，流量计连接于混合液通道上，第三调压阀连接于流量计上。如此设置，能够排除臭氧水中气泡对检测的干扰，提高臭氧水浓度检测的准确性，并且由于无需分离臭氧水的中的气泡，能够对臭氧水进行实时的检测，无滞后性。