一种光掩模湿法工艺卡盘
基本信息
| 申请号 | CN202010729016.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111863701A | 公开（公告）日 | 2020-10-30 |
| 申请公布号 | CN111863701A | 申请公布日 | 2020-10-30 |
| 分类号 | H01L21/687(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 徐飞;邬治国;沈健;华卫群;尤春;刘维维 | 申请（专利权）人 | 常州瑞择微电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京高沃律师事务所 | 代理人 | 常州瑞择微电子科技有限公司;无锡中微掩模电子有限公司 |
| 地址 | 213000江苏省常州市长江中路2号楼5楼西 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开一种光掩模湿法工艺卡盘，涉及微电子制造领域，包括卡盘本体，所述卡盘本体底部固定连接有卡盘连接件，所述卡盘连接件与旋转电机的旋转轴固定连接；所述旋转电机上安装有马达盖本体，所述马达盖本体套设于所述卡盘连接件上，所述马达盖本体与所述卡盘本体之间设置有卡盘防水罩，所述卡盘防水罩套设于所述卡盘连接件上，且所述卡盘防水罩顶部与所述卡盘本体底部固定连接。本发明通过设计优化卡盘底座和马达盖的密封结构，达到防水和防止虹吸效应，避免液体进入马达盖，有效防止旋转电机进水和腐蚀。 |
