一种具有硅氢壳层纳米球硅的制备方法

基本信息

申请号 CN201310194669.4 申请日 -
公开(公告)号 CN103241740B 公开(公告)日 2015-05-27
申请公布号 CN103241740B 申请公布日 2015-05-27
分类号 C01B33/021(2006.01)I;B82Y30/00(2011.01)I 分类 无机化学;
发明人 沈晓东;刘国钧;唐云俊;杨小旭;蒋红彬 申请(专利权)人 苏州金瑞晨科技有限公司
代理机构 北京同恒源知识产权代理有限公司 代理人 苏州金瑞晨科技有限公司
地址 215000 江苏省苏州市吴中区吴中经济开发区澄湖东路5号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种采取两步法制备高纯度、粒径分布均一且具有硅氢保护壳层的纳米球硅的制备方法:第一步,先通过电弧等离子体的方法制得尺寸规整、分布均一的微米级硅粒,不引入杂质;第二步,通过酸性有机组合物进一步去除微米硅表面氧化物,通过碾蚀作用得到纳米球硅,且同时发生接枝反应形成硅氢保护壳层。本发明所述制备方法制得的纳米球硅保证了初始尺寸和尺寸分布的均一性,而且纳米球硅表面的硅氢保护壳层可增强纳米硅的抗氧化性,有效解决团聚问题。