一种含高聚磷纳米硅浆料的制备方法及其应用
基本信息
| 申请号 | CN201310194633.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN103280402B | 公开（公告）日 | 2015-09-02 |
| 申请公布号 | CN103280402B | 申请公布日 | 2015-09-02 |
| 分类号 | H01L21/22(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I;B82Y30/00(2011.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 沈晓东;成汉文;钟朝伟;杨小旭;万剑 | 申请（专利权）人 | 苏州金瑞晨科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京同恒源知识产权代理有限公司 | 代理人 | 苏州金瑞晨科技有限公司 |
| 地址 | 215000 江苏省苏州市吴中区吴中经济开发区澄湖东路5号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种含高聚磷纳米硅浆料的制备方法及其应用，制备方法包括以下步骤：1）制备直径为10-100纳米的硅微粒；2）制备含磷组合物；3）将步骤1和步骤2制得的硅微粒和含磷组合物在公转-自传设备中通入保护气氛下混合，得到的含磷纳米硅浆料的粘度在0.5PaS-18.0PaS。将制得的含磷纳米硅浆料通过丝网印刷到电池硅片表面，线条清晰度高，无毛刺，能对硅片进行选择性掺杂并形成高、低掺杂区。 |
