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自准直式中阶梯光栅衍射效率测试装置

基本信息

申请号	CN201810032110.4	申请日	-
公开（公告）号	CN108254161A	公开（公告）日	2018-07-06
申请公布号	CN108254161A	申请公布日	2018-07-06
分类号	G01M11/02	分类	测量；测试;
发明人	孙慈;王明佳;崔继承;杨晋;冯树龙;李天骄;宋楠;朱继伟	申请（专利权）人	吉林省光电子产业孵化器有限公司
代理机构	深圳市科进知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;长春长光格瑞光电技术有限公司
地址	130033 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种自准直式中阶梯光栅衍射效率测试装置：光源系统用于提供连续光及激光；单色系统用于将光源系统提供的连续光变为单色光出射到测试系统的入口处；测试系统包括第三球面镜、待测中阶梯光栅、待测平面镜及第四平面镜，从入口处进来的光依次经过第三球面镜反射至待测中阶梯光栅或待测平面镜，反射回第三球面镜，再反射至第四平面镜，最后进入接收系统，测试系统为自准直式结构，用于在准李特罗条件下测试待测中阶梯光栅的衍射效率；接收系统包括狭缝和光电倍增管，狭缝的作用是遮挡待测中阶梯光栅的非测试级次衍射光，光电倍增管用于接收中阶梯光栅测试级次的衍射光强。本发明特别适用于紫外及近红外的中阶梯光栅的相对衍射效率检测。