用于酸洗的吊篮装置

基本信息

申请号 CN202010884910.6 申请日 -
公开(公告)号 CN112058778B 公开(公告)日 2022-03-11
申请公布号 CN112058778B 申请公布日 2022-03-11
分类号 B08B3/08(2006.01)I;B08B13/00(2006.01)I 分类 清洁;
发明人 俞杰;李炯 申请(专利权)人 上海华力微电子有限公司
代理机构 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 曹廷廷
地址 201315上海市浦东新区良腾路6号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种用于酸洗的吊篮装置,包括:吊篮,所述吊篮的底部包括第一区域和第二区域,所述第一区域中设置有若干第一穿孔,所述第二区域中设置有贯穿的开口;升降组件,与所述吊篮连接,以驱动所述吊篮升降;清洗槽,嵌设于所述开口上,所述清洗槽的内壁上设置有若干第二穿孔;支撑组件,设置于所述第一区域并高于所述吊篮底部,一U形管的弯曲部设置于所述支撑组件上,U形管的开口部延伸至所述第一区域上。本发明解决了现有技术中U形管清洗效果差、清洗效率低和易产生污染的问题。