一种热电偶及半导体设备
基本信息
| 申请号 | CN202122638508.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216081808U | 公开（公告）日 | 2022-03-18 |
| 申请公布号 | CN216081808U | 申请公布日 | 2022-03-18 |
| 分类号 | G01K7/02（2021.01）I;G01K1/08（2021.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 唐升 | 申请（专利权）人 | 上海华力微电子有限公司 |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 周耀君 |
| 地址 | 201315上海市浦东新区良腾路6号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供了一种热电偶及半导体设备。热电偶包括至少一个导线组和保护套管组，其中，导线组包括并排设置的第一导线和第二导线，所述第一导线和所述第二导线的一端部相互连接而构成连接端，保护套管组包括相互独立的第一保护套管和第二保护套管。导线组中的第一导线和第二导线分别采用相互独立的保护套管而独立保护，使得导线组中的各个导线远离连接端的部分相互独立，减小导线在弯折处裸露出来的部分因受热变形后发生接触的几率，提升热电偶的精确性。在将该热电偶用于半导体设备中时，可有效确保设备内温度保持较高精确性和均匀性，从而有助于提升芯片的质量和性能。 |
