半球谐振子超精密球面加工装置

基本信息

申请号 CN201821498359.6 申请日 -
公开(公告)号 CN209579177U 公开(公告)日 2019-11-05
申请公布号 CN209579177U 申请公布日 2019-11-05
分类号 B24B37/025(2012.01)I; B24B37/34(2012.01)I 分类 磨削;抛光;
发明人 马波 申请(专利权)人 嘉兴精谐电子科技有限责任公司
代理机构 合肥顺超知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 代理人 周发军
地址 710054 陕西省西安市国家民用航天产业基地航天中路399号神光双子大厦A座1401室
法律状态 -

摘要

摘要 半球谐振子超精密球面加工装置,包括有半球谐振子内球面超精密加工装置、半球谐振子灌封装置、球壳口倒内球面角装置、外球面倒角示装置、内球面倒角示装置、支撑杆自适应弹性磨头装置。加工方法包括有以下步骤:步骤1、精密球面加工方法;步骤2、各类参数组合序列方法;步骤3、精密球面加工磨头设计方法及与研磨剂材质和粒度的控制方法;步骤4、微应力球面精密加工的弹性加载力的控制方法;步骤5、半球谐振子灌封方法;步骤6、半球谐振子精密测量方法,包括有真球度测量方法和同轴测量方法;步骤7、球壳口倒角、支撑杆R倒圆方法;步骤8、支撑杆自适应弹性磨头使用方法。