一种储存半导体材料的容器真空置换及测漏装置
基本信息
| 申请号 | CN202123306008.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216386154U | 公开（公告）日 | 2022-04-26 |
| 申请公布号 | CN216386154U | 申请公布日 | 2022-04-26 |
| 分类号 | G01M3/04（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 徐鹏;邓涛;魏学成;刘长城;张霞;陈文全;耿双萍 | 申请（专利权）人 | 大连恒坤新材料有限公司 |
| 代理机构 | 大连至诚专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 张海燕;马玉戈 |
| 地址 | 116000辽宁省大连市金普新区古耕国际商务大厦1503室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种储存半导体材料的容器真空置换及测漏装置，包括：第一管线、第二管线、第三管线、氦气测漏仪及真空泵，所述第一管线通过第五阀门与容器连接，所述第二管线通过第六阀门与容器连接，所述第三管线与所述真空泵连接。本实用新型公开了一种储存半导体材料的容器真空置换及测漏装置，通过对容器内充入氦气能够准确快速的找到漏点，伴热带对容器进行加热，能够更好的除去容器中的水分，将容器中的水分进行快速的置换；另外，只需将容器进行更换，即可对多个容器完成检测，且检测时间短，不需要耗费大量的人力和物力资源，检测成本低。 |
