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一种正硅酸乙酯的提纯方法

基本信息

申请号	CN201910183201.2	申请日	-
公开（公告）号	CN109734742A	公开（公告）日	2019-05-10
申请公布号	CN109734742A	申请公布日	2019-05-10
分类号	C07F7/04（2006.01）I	分类	有机化学〔2〕;
发明人	赵明海	申请（专利权）人	大连恒坤新材料有限公司
代理机构	厦门市精诚新创知识产权代理有限公司	代理人	赖秀华
地址	116600 辽宁省大连市金普新区松木岛化工园区松源街
法律状态	-

摘要

本发明属于物质提纯领域，具体公开了一种正硅酸乙酯的提纯方法，该方法包括将待提纯的正硅酸乙酯原料在160‑170℃、常压条件下进行加热蒸馏，将所得液态馏分在70‑80℃、真空度≤95kPa的条件下进行减压蒸馏，再将所得气态馏分进行液化处理，之后将液化处理产物在20‑40℃、常压条件下依次进行第一树脂吸附和第二树脂吸附，所述第一树脂吸附所采用的第一吸附树脂是功能基团为氢离子的甲基丙烯酸甲酯，所述第二树脂吸附所采用的第二吸附树脂是功能基团为氢氧根离子的聚甲基丙烯酸酯。采用本发明提供的方法对正硅酸乙酯进行提纯，其成品的纯度可以从6N级(99.9999％)提高到7N级(99.99999％)，甚至更高级别，从而满足半导体制造工艺中对材料更高的要求。