薄膜晶体管及其制造方法
基本信息
| 申请号 | CN201310342961.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN103413835B | 公开（公告）日 | 2016-12-28 |
| 申请公布号 | CN103413835B | 申请公布日 | 2016-12-28 |
| 分类号 | H01L29/786(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 黄彦余;张锡明 | 申请（专利权）人 | 华映视讯（吴江）有限公司 |
| 代理机构 | 上海汉声知识产权代理有限公司 | 代理人 | 胡晶 |
| 地址 | 215217 江苏省苏州市吴江经济开发区同里分区江兴东路555号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种薄膜晶体管的制造方法包括下列步骤。提供基板。形成栅极于基板。形成第一源极于基板。形成信道，其中信道的一端与第一源极接触。形成阻挡层，阻挡层至少覆盖信道与第一源极接触的一端且暴露出信道的另一端。形成漏极，漏极与信道的另一端接触。此外，一种利用上述方法所制作的薄膜晶体管亦被提出。 |
