形成膜层图案的方法
基本信息
| 申请号 | CN201410116809.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN103887217B | 公开（公告）日 | 2017-01-18 |
| 申请公布号 | CN103887217B | 申请公布日 | 2017-01-18 |
| 分类号 | H01L21/68(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 李一帆 | 申请（专利权）人 | 华映视讯（吴江）有限公司 |
| 代理机构 | 上海汉声知识产权代理有限公司 | 代理人 | 华映视讯（吴江）有限公司;中华映管股份有限公司 |
| 地址 | 215217 江苏省苏州市吴江经济开发区同里分区江兴东路555号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种形成膜层图案的方法至少包括下列步骤。(1)利用第一对位记号与第二对位记号量测出第一膜层图案与第二膜层图案之间的第一偏移值D1。(2)利用第一偏移值D1计算出第一虚拟原点值O1。(3)利用第二对位记号与第一罩幕对位记号量测出第二膜层图案与第一罩幕图案之间的第二偏移值D2。(4)利用第一虚拟原点值O1与第二偏移值D2计算出第一罩幕图案与第一虚拟原点之间的第三偏移值D3。(5)判断第三偏移值D3是否在规格值的范围内。 |
