一种CZ直拉单晶法真空泵
基本信息
| 申请号 | CN200920172290.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN201425010Y | 公开（公告）日 | 2010-03-17 |
| 申请公布号 | CN201425010Y | 申请公布日 | 2010-03-17 |
| 分类号 | F04B37/14(2006.01)I;F04B39/00(2006.01)I | 分类 | 液体变容式机械；液体泵或弹性流体泵; |
| 发明人 | 马四海;张笑天 | 申请（专利权）人 | 芜湖昊阳光能股份有限公司 |
| 代理机构 | 芜湖安汇知识产权代理有限公司 | 代理人 | 芜湖升阳光电科技有限公司;芜湖昊阳光能股份有限公司 |
| 地址 | 241100安徽省芜湖县芜湖机械工业园朝阳路1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种CZ直拉单晶法真空泵，所述的真空泵下部设有避震装置，所述的避震装置包括槽钢底架(1)及避震结构，所述的避震结构为：在所述的槽钢底架(1)上方，设由柔性材料制成的上避震模块(2)；在所述的槽钢底架(1)下方，设由柔性材料制成的下避震模块(3)。采用上述技术方案，采用两级避震方式，更大幅度的降低真空泵的震动；采用新型的聚乙烯树脂棒作为主要避震方式，相对橡胶避震材料效果更佳。 |
