一种长单晶硅棒的取出装置
基本信息
| 申请号 | CN201110430461.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN102409398B | 公开（公告）日 | 2014-03-26 |
| 申请公布号 | CN102409398B | 申请公布日 | 2014-03-26 |
| 分类号 | C30B15/30(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 冯冬芳;李进 | 申请（专利权）人 | 北京京仪世纪电子股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人 | 北京京仪世纪电子股份有限公司;北京京仪仪器仪表研究总院有限公司 |
| 地址 | 100079 北京市丰台区永外宋家庄苇子坑2号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种长单晶硅棒的取出装置，用于硅单晶炉，包括由下至上依次设置的电动推杆、电动推杆连接块、顶升轴、炉盖提升轴、炉盖提升连接件、副室提升轴和副室提升连接件，所述顶升轴贯穿所述炉盖提升轴且所述顶升轴的两端分别延伸出所述炉盖提升轴的端部，所述顶升轴能在所述炉盖提升轴内上下移动，所述顶升轴的上端与所述副室提升轴的下端相连接，所述顶升轴的下端与所述电动推杆连接块相连接，在所述炉盖提升轴底端与所述电动推杆连接块之间的所述顶升轴上设有可拆装的止挡部件。本发明实现了长单晶硅棒稳固、安全方便、可靠的取出，同时满足不同长度单晶硅棒取出而进行快捷、方便切换需求的长单晶硅棒的取出装置。 |
