直线电机精密定位控制校正方法及校正系统
基本信息
| 申请号 | CN201410273776.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104076739A | 公开（公告）日 | 2014-10-01 |
| 申请公布号 | CN104076739A | 申请公布日 | 2014-10-01 |
| 分类号 | G05B19/19(2006.01)I | 分类 | 控制；调节; |
| 发明人 | 邢鹏展;刘遵明;常丰吉;王忠生;李华;郑福志;孙君实;陶鑫;钱雨松;刘金彪 | 申请（专利权）人 | 佛山中科灿光微电子设备有限公司 |
| 代理机构 | 长春吉大专利代理有限责任公司 | 代理人 | 长春光华微电子设备工程中心有限公司;佛山中科灿光微电子设备有限公司 |
| 地址 | 130033 吉林省长春市经开区营口路77号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种直线电机定位控制校正方法，该方法如下：按照设定的运动步长控制直线电机运行，利用激光干涉测量装置测量每运行一个步长对应的绝对位置区间内的定位误差值；将定位误差值取反得到误差补偿值并建立误差补偿表；根据设备工作需要设定直线电机每个工作位置坐标；读取直线电机的当前工作位置坐标并确定所在的位置区间；根据误差补偿表中对应的绝对位置区间误差补偿值对当前工作位置坐标进行修正，并利用修正值控制直线电机运行。本发明对于定位误差无较大突变的电机，均可按照既定的工作范围对其校正补偿，补偿精度高，可适用于激光划片(线)机或激光雕刻机等其它需要控制直线电机运动步长的设备。 |
