驱动基板及制作方法、显示面板
基本信息
| 申请号 | CN202110052271.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112599478A | 公开（公告）日 | 2021-04-02 |
| 申请公布号 | CN112599478A | 申请公布日 | 2021-04-02 |
| 分类号 | H01L27/12(2006.01)I;H01L33/58(2010.01)I;G09F9/33(2006.01)I;H01L21/84(2006.01)I;H01L25/13(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 顾杨 | 申请（专利权）人 | 苏州芯聚半导体有限公司 |
| 代理机构 | 苏州威世朋知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 常伟 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市工业园区通园路666号B幢2楼2007 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种驱动基板及制作方法、显示面板，制作方法包括：提供衬底；形成遮光层于所述衬底一侧的表面上；提供掩膜版，所述掩膜版层叠于所述遮光层上方，所述掩膜版包括若干镂空区；干法蚀刻所述遮光层形成若干斜向开槽和若干第一遮光单元，每一斜向开槽与每一镂空区对应，每一第一遮光单元具有靠近所述衬底的第一侧边的倾斜侧壁；移动掩膜版，以使每一第一遮光单元靠近所述衬底的第一侧边的倾斜侧壁自对应的镂空区中露出；以及干法蚀刻所述倾斜侧壁，形成第二遮光单元；其中，所述第二遮光单元的剖面形状为正梯形结构。 |
