一种高灵敏度的声表面波绝压压力传感器
基本信息
| 申请号 | CN202010525496.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111623917B | 公开（公告）日 | 2022-03-04 |
| 申请公布号 | CN111623917B | 申请公布日 | 2022-03-04 |
| 分类号 | G01L7/10（2006.01）I;G01L11/04（2006.01）I;G01L13/02（2006.01）I;G01L17/00（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 郝文昌;骆伟;赵广宏;焦海龙;刘铁钢;张小辉 | 申请（专利权）人 | 北京遥测技术研究所 |
| 代理机构 | 中国航天科技专利中心 | 代理人 | 张辉 |
| 地址 | 100076北京市丰台区北京市9200信箱74分箱 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种高灵敏度的声表面波绝压压力传感器，包括感压膜片、声表面波谐振器、中间层、压力参考腔和盖板；中间层、感压膜片和盖板通过直接键合或间接键合方式形成整体结构，并在所述整体结构上形成压力参考腔；声表面波谐振器设置在感压膜片的内表面，位于压力参考腔的感压区域中心处；压力参考腔为矩形或椭圆形结构，矩形短边或椭圆形短轴与所述声表面波谐振器中声表面波的传播方向平行，且长度大于等于声表面波谐振器的长度，矩形长边或椭圆形长轴与所述声表面波谐振器中声孔径方向平行；声表面波谐振器（2）汇流条处均连接输出引线。本发明灵敏度高且体积小，加工工艺简单且继承性好，具有良好的长期稳定性。 |
