一种微孔金属填充结构及填充方法
基本信息
| 申请号 | CN201510323889.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN106298639B | 公开（公告）日 | 2019-04-30 |
| 申请公布号 | CN106298639B | 申请公布日 | 2019-04-30 |
| 分类号 | H01L21/768（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 顾杰斌; 刘冰杰; 李昕欣 | 申请（专利权）人 | 湖州中微科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海光华专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;湖州中微科技有限公司;上海迈铸半导体科技有限公司 |
| 地址 | 200050 上海市长宁区长宁路865号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种微孔金属填充结构及填充方法，所述方法包括：提供一液态金属槽并在其上水平放置由喷嘴片、填充片及盖片叠加而成的三明治结构；其中，喷嘴片下表面紧贴液态金属的上表面，喷嘴片与填充片之间设有第一间隙，填充片与盖片之间设有第二间隙；所述填充片中具有填充微孔，所述喷嘴片中设有与所述填充微孔垂直对应的喷嘴孔结构；通过调整所述三明治结构的内部气压P1及所述液态金属的表面气压P2，实现所述填充微孔的金属填充及切割。本发明填充速度极快，准确度高、切割效果好，并可同时实现不同孔径微孔的填充。本发明不仅可以实现通孔的填充，还可以实现盲孔的填充；同时，填充微孔与待填充的液态金属可以浸润，也可以不浸润。 |
