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翻斗式蚀刻机

基本信息

申请号	CN200910039218.7	申请日	-
公开（公告）号	CN101880877B	公开（公告）日	2013-04-17
申请公布号	CN101880877B	申请公布日	2013-04-17
分类号	C23F1/08(2006.01)I	分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人	黎荣昌	申请（专利权）人	佛山博格达电子科技有限公司
代理机构	广州三环专利代理有限公司	代理人	黎荣昌;佛山博格达电子科技有限公司
地址	523000 广东省东莞市东城区鸿福路尚书苑尚礼府505号
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种翻斗式蚀刻机，包括翻斗装置、动力装置、主动件、从动件、加热装置及控制装置，主动件一端与动力装置连接，被动力装置驱动，动力装置及加热装置分别与控制装置电连接，控制装置与外界电源电连接，翻斗装置包括机座、翻斗及限位块，机座上设有支点，翻斗枢接于支点上，可沿一旋转轴转动，限位块设置于旋转轴两侧并低于支点的位置，从动件固定于翻斗装置的翻斗上，主动件与从动件间歇式接触配合，带动从动件及翻斗上升、下降及跌落，翻斗具有用于盛放蚀刻液的斗槽，斗槽的壁为中空结构，壁内形成加热槽，加热槽内容纳加热装置及加热液体。整个斗槽在做翻转过程时，有一半行程的翻转是依靠溶液槽内液体的流动所带来的重心的偏移，致使斗槽自动做翻转运动，并且溶液槽内的溶液产生一定的流速及冲刷力，使得本发明蚀刻精度高且成本低。