一种防污膜注液装置及真空镀膜机
基本信息
| 申请号 | CN202122395174.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215887204U | 公开（公告）日 | 2022-02-22 |
| 申请公布号 | CN215887204U | 申请公布日 | 2022-02-22 |
| 分类号 | C23C14/24（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 张波;吴凯;王德智;戴秀海;龙汝磊 | 申请（专利权）人 | 光驰科技（上海）有限公司 |
| 代理机构 | 北京品源专利代理有限公司 | 代理人 | 廖微 |
| 地址 | 200436上海市宝山区宝山城市工业园区城银路267，297号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及真空镀膜技术领域，公开一种防污膜注液装置及真空镀膜机。其中防污膜注液装置包括注液泵、流量检测件和多个注液嘴，注液泵的进口与药液管路连通，出口设置有注液主管；多个注液嘴一一对应地通过注液支管与注液主管连通，每个注液支管上均设置有液体开关阀，某一液体开关阀打开，以使与该液体开关阀连通的注液嘴注液泵连通；流量检测件被配置为能检测进入每个注液嘴的药液的量。本实用新型提供的防污膜注液装置，通过一个流量泵就可以实现多个注液嘴的注液，减少流量泵的使用，有利于提高防污膜注液装置的经济性，同时简化防污膜注液装置的线路布置；流量检测件使每个注液嘴的药液量可知，提高注液的准确性。 |
