一种多轴旋转式工件装载机构

基本信息

申请号 CN202121621589.9 申请日 -
公开(公告)号 CN216071920U 公开(公告)日 2022-03-18
申请公布号 CN216071920U 申请公布日 2022-03-18
分类号 B65G47/24(2006.01)I 分类 输送;包装;贮存;搬运薄的或细丝状材料;
发明人 余龙;张果立;周斌;吕启蒙 申请(专利权)人 光驰科技(上海)有限公司
代理机构 上海申蒙商标专利代理有限公司 代理人 周宇凡
地址 200444上海市宝山区宝山城市工业园区城银路267号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及薄膜沉积、喷涂、刻蚀等工件加工技术领域,尤其是一种多轴旋转式工件装载机构,其特征在于:包括固定端、驱动端、基础板、主轴,其中所述主轴安装在所述固定端和所述驱动端之间且其可旋转;所述基础板用于承载工件,所述基础板上具有万向节,所述基础板通过所述万向节呈一定角度倾斜地安装在所述主轴上。本实用新型的优点是:通过控制基础板的旋转状态有效提高工件加工操作的均匀性;针对不同的工件可通过更换固定角度块来调整工件的倾斜角度,以满足不同工件的加工均匀性的要求,适用范围广;工件安装方便,保证效率。