一种用于成膜室的自动开关门装置
基本信息
| 申请号 | CN202120542123.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215251155U | 公开（公告）日 | 2021-12-21 |
| 申请公布号 | CN215251155U | 申请公布日 | 2021-12-21 |
| 分类号 | C23C14/56（2006.01）I;C23C14/54（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 薛聪颖;龙汝磊;虞润淋;吴萍 | 申请（专利权）人 | 光驰科技（上海）有限公司 |
| 代理机构 | 上海申蒙商标专利代理有限公司 | 代理人 | 周宇凡 |
| 地址 | 200444上海市宝山区宝山城市工业园区城银路267号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及成膜设备技术领域，尤其是一种用于成膜室的自动开关门装置，其特征在于：所述成膜室门的一侧与所述成膜室主体之间铰接，在所述成膜室主体与所述成膜室门之间设置有开关门机构，所述开关门机构用于连接控制所述成膜室门的启闭，使所述成膜室门可旋转打开或可旋转闭合，在所述成膜室主体的侧面设置有锁紧机构，所述锁紧机构用于在所述成膜室门闭合后对所述成膜室门与所述成膜室主体之间的对接位置进行锁紧。本实用新型的优点是：实现成膜室门的自动启闭，可有效避免有害镀膜材料的外泄以及成膜室门启闭时的人身伤害，提高安全性；有效减小成膜室门启闭所需的推力，同时便于控制；结构简单合理、自动化程度高，适于推广。 |
