一种加热器及真空镀膜装置
基本信息
| 申请号 | CN202122398697.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215856298U | 公开（公告）日 | 2022-02-18 |
| 申请公布号 | CN215856298U | 申请公布日 | 2022-02-18 |
| 分类号 | C23C14/24（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 张波;王德智;余海春;戴秀海;龙汝磊;邵鑫 | 申请（专利权）人 | 光驰科技（上海）有限公司 |
| 代理机构 | 北京品源专利代理有限公司 | 代理人 | 廖微 |
| 地址 | 200436上海市宝山区宝山城市工业园区城银路267，297号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及一种加热器及真空镀膜装置。该加热器包括加热组件。具体而言，加热组件包括加热容器和加热丝，且加热容器包括底部和侧壁，侧壁沿底部的外周轮廓向上延伸而形成，加热丝设置在侧壁的外周和底部的下方，从而增大加热容器的加热面积，提高加热容器升温速度，从而提高加热器的加热效率。本实用新型还公开了一种真空镀膜装置，通过上述加热器，以达到升温快、提高加热效率的效果。 |
