一种工件夹具搬送机构
基本信息
| 申请号 | CN202122164561.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215713354U | 公开（公告）日 | 2022-02-01 |
| 申请公布号 | CN215713354U | 申请公布日 | 2022-02-01 |
| 分类号 | C23C14/56（2006.01）I;C23C16/54（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 余龙;周斌;渡邉優;张波;裴蓓;曹永军;加藤弘樹;吕启蒙 | 申请（专利权）人 | 光驰科技（上海）有限公司 |
| 代理机构 | 上海申蒙商标专利代理有限公司 | 代理人 | 周宇凡 |
| 地址 | 200444上海市宝山区宝山城市工业园区城银路267号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及真空镀膜、刻蚀、热工艺处理等技术领域，尤其是一种工件夹具搬送机构，其特征在于：包括升降模组、交换臂、旋转模组，其中所述交换臂设置在所述升降模组上并可在所述升降模组的驱动下升降，所述旋转模组用于驱动安装在所述升降模组上的所述交换臂旋转，所述交换臂上具有与所述工件夹具相吻合适配的对接部。本实用新型的优点是：实现工件的快速搬送，搬送效率高；保证工件在搬送过程中稳定可靠，尤其是不易产生粉尘，适合真空系统的搬送需求；结构简单合理，使用方便，可根据不同类型或不同型尺寸的工件的装载要求进行快速设计，适于推广。 |
