一种应用于镀膜机的真空伺服搬运系统
基本信息
| 申请号 | CN202120211757.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215251139U | 公开（公告）日 | 2021-12-21 |
| 申请公布号 | CN215251139U | 申请公布日 | 2021-12-21 |
| 分类号 | C23C14/50（2006.01）I;C23C14/54（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 卜钦钦;戴晓东;王德智 | 申请（专利权）人 | 光驰科技（上海）有限公司 |
| 代理机构 | 上海申蒙商标专利代理有限公司 | 代理人 | 周宇凡 |
| 地址 | 200444上海市宝山区宝山城市工业园区城银路267号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种应用于镀膜机的真空伺服搬运系统，包括基板夹取移送机构、基板侧移机构以及伺服控制系统，其中基板夹取移送机构和基板侧移机构设置在镀膜机的真空腔体内部，且基板夹取移送机构和基板侧移机构分别采用伺服电机作为动力部件，基板夹取移送机构和基板侧移机构分别在各自的真空伺服电机的驱动下执行动作，伺服机电机的工作状态由伺服控制系统连接控制。本实用新型的优点是：可以实现更精确的定位；便于与外部自动化对接，提升设备的自动化水平；可实现该套系统在不同机型之间的应用，具有较高的灵活性；减少和设备之间的物理碰撞可以提升该套系统的维护时间，进而提高设备的性能；系统具有良好的同步性，准确性。 |
