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一种太阳能电池硼扩散装置

基本信息

申请号 CN201610563642.1 申请日 -
公开（公告）号 CN106129177B 公开（公告）日 2017-12-12
申请公布号 CN106129177B 申请公布日 2017-12-12
分类号 H01L31/18(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 张伟;杨伟光;郎芳;王平;史金超;宋登元 申请（专利权）人 保定天威英利新能源有限公司
代理机构 石家庄国为知识产权事务所 代理人 保定天威英利新能源有限公司
地址 071051 河北省保定市高开区复兴中路3055号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种太阳能电池硼扩散装置，属于太阳能电池制作技术领域。本发明包括以下步骤：将需要进行硼扩散的硅片放入扩散炉内，升温；通入硼源、二氯乙烯、氧气和氮气进行硼扩散；停止通硼源、氧气和二氯乙烯，在氮气氛围下保持温度在900℃‑960℃，持续时间15min‑40min，氮气流量为10‑20L/min；降温，取出硅片，完成扩散过程。本发明是在BBr3液态源高温扩散过程中引入二氯乙烯，能够提高硼扩散的片内均匀性及片间均匀性，减缓B2O3对炉内石英器件的腐蚀，延长石英器件的使用寿命，避免硅片在高温过程中受到金属污染。