硅片切割废砂浆水洗回收系统及方法

基本信息

申请号 CN201610089166.4 申请日 -
公开(公告)号 CN105482152B 公开(公告)日 2018-09-21
申请公布号 CN105482152B 申请公布日 2018-09-21
分类号 C08J11/06;C01B32/956;C01B32/30 分类 有机高分子化合物;其制备或化学加工;以其为基料的组合物;
发明人 沈方民 申请(专利权)人 苏州协鑫科技发展有限公司
代理机构 广州华进联合专利商标代理有限公司 代理人 苏州协鑫光伏科技有限公司
地址 215153 江苏省苏州市高新区五台山路69号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种硅片切割废砂浆水洗回收系统,包括依次连接的第一级切割废砂浆水洗系统、第二级活性炭水洗系统和液体线蒸馏系统,第一级切割废砂浆水洗系统包括切割废砂浆压滤子系统和第一水洗管路,第一水洗管路分别与切割废砂浆压滤子系统和液体线蒸馏系统连接,第二级活性炭水洗系统包括活性炭压滤子系统和第二水洗管路,第二水洗管路分别与活性炭压滤子系统和液体线蒸馏系统连接。本发明还提供相应的硅片切割废砂浆水洗回收方法。本发明能够最大限度的降低碳化硅滤饼和活性炭滤饼上的PEG液残留,大大提高了PEG液的回收率,保证提取的PEG液纯度,且能够有效节约资源,避免环境污染,利于环保。