硅片检验操作平台
基本信息
申请号 | CN201620221427.9 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN205508782U | 公开(公告)日 | 2016-08-24 |
申请公布号 | CN205508782U | 申请公布日 | 2016-08-24 |
分类号 | H01L21/66(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 耿儒牛 | 申请(专利权)人 | 苏州协鑫科技发展有限公司 |
代理机构 | 广州华进联合专利商标代理有限公司 | 代理人 | 协鑫阿特斯(苏州)光伏科技有限公司;苏州协鑫光伏科技有限公司 |
地址 | 215153 江苏省苏州市苏州高新区昆仑山路68号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型涉及一种硅片检验操作平台。硅片检验操作平台包括支架;第一承载台,用于承载来自硅片分选机的硅片;第二承载台,位于第一承载台的一侧,且固定连接于支架上,用于承载来自第一承载台的硅片;工业一体机,固定连接于支架上,且可与支架进行相对运动,工业一体机与硅片分选机通信连接;扫描枪,与工业一体机通信连接;以及打印机,与工业一体机通信连接;第一承载台固定连接于支架或者第二承载台上,第一承载台与第二承载台位于支架的同侧。将上述硅片检验操作平台设置在硅片分选机的下料区域的侧面,硅片分选之后,检验员可分担下料工作、盒号打印及包装工作,提高了硅片分选机的使用效率,避免了人力的浪费,有利于降低生产成本。 |
