硅片检验操作平台

基本信息

申请号 CN201620221427.9 申请日 -
公开(公告)号 CN205508782U 公开(公告)日 2016-08-24
申请公布号 CN205508782U 申请公布日 2016-08-24
分类号 H01L21/66(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 耿儒牛 申请(专利权)人 苏州协鑫科技发展有限公司
代理机构 广州华进联合专利商标代理有限公司 代理人 协鑫阿特斯(苏州)光伏科技有限公司;苏州协鑫光伏科技有限公司
地址 215153 江苏省苏州市苏州高新区昆仑山路68号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种硅片检验操作平台。硅片检验操作平台包括支架;第一承载台,用于承载来自硅片分选机的硅片;第二承载台,位于第一承载台的一侧,且固定连接于支架上,用于承载来自第一承载台的硅片;工业一体机,固定连接于支架上,且可与支架进行相对运动,工业一体机与硅片分选机通信连接;扫描枪,与工业一体机通信连接;以及打印机,与工业一体机通信连接;第一承载台固定连接于支架或者第二承载台上,第一承载台与第二承载台位于支架的同侧。将上述硅片检验操作平台设置在硅片分选机的下料区域的侧面,硅片分选之后,检验员可分担下料工作、盒号打印及包装工作,提高了硅片分选机的使用效率,避免了人力的浪费,有利于降低生产成本。