一种晶圆边缘管芯判定方法及系统
基本信息
| 申请号 | CN201910309016.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110033470B | 公开（公告）日 | 2021-08-24 |
| 申请公布号 | CN110033470B | 申请公布日 | 2021-08-24 |
| 分类号 | G06T7/13（2017.01）I;G06T7/11（2017.01）I;G06T7/00（2017.01）I | 分类 | 计算；推算；计数; |
| 发明人 | 彭义 | 申请（专利权）人 | 英特尔产品（成都）有限公司 |
| 代理机构 | 北京永新同创知识产权代理有限公司 | 代理人 | 林锦辉 |
| 地址 | 611731四川省成都市高新技术开发区西区科新路8-1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明属于晶圆边缘检测技术领域，公开了一种晶圆边缘管芯判定方法及系统，以晶圆中心点作为原点建立一个具有X向和Y向的平面晶圆图；即晶圆上的每一个点的位置都可以用X向和Y向上的值来描述；将晶圆根据加工管芯尺寸参数，从X向和Y向将晶圆分割成若干个管芯，并以每个管芯在晶圆图上的X向和Y向位置来对管芯位置参数进行描述；根据生产要求实际，将位于晶圆图最外沿的一圈或多圈管芯设定为晶圆的边缘管芯，并根据确定为边缘的管芯的位置参数计算出边缘与晶圆中心（即原点）的最小距离R，计算管芯与晶圆中心点（即原点）的距离，并与边缘与晶圆中心点（即原点）的最小距离R比较，判断管芯的位置是否为晶圆的边缘。 |
