用于翘曲度监测的方法和装置
基本信息
| 申请号 | CN202110386419.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113097093A | 公开（公告）日 | 2021-07-09 |
| 申请公布号 | CN113097093A | 申请公布日 | 2021-07-09 |
| 分类号 | H01L21/66（2006.01）I;G01B21/20（2006.01）I;G01B21/32（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 刘思瑶;张琴 | 申请（专利权）人 | 英特尔产品（成都）有限公司 |
| 代理机构 | 北京永新同创知识产权代理有限公司 | 代理人 | 林锦辉;刘景峰 |
| 地址 | 611731四川省成都市高新技术开发区西区科新路8-1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了用于翘曲度监测的方法和装置。其中，一种用于翘曲度监测的方法，包括：基于多个半导体器件的翘曲度来确定所述多个半导体器件发生表面贴装技术（SMT）故障的多个量化值；基于所述多个量化值来获得多个模拟值；以及基于所获得的多个模拟值来监测所述多个半导体器件的翘曲度。 |
