基于铝和三氧化二铝复合电极的电润湿微流体系统
基本信息
申请号 | CN201910015637.0 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN109603940A | 公开(公告)日 | 2019-04-12 |
申请公布号 | CN109603940A | 申请公布日 | 2019-04-12 |
分类号 | B01L3/00(2006.01)I | 分类 | 一般的物理或化学的方法或装置; |
发明人 | 苏阳; 马汉彬; 张研 | 申请(专利权)人 | 广东奥素液芯微纳科技有限公司 |
代理机构 | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 苏州奥素液芯电子科技有限公司 |
地址 | 215163 江苏省苏州市高新区科灵路78号5号楼101室 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种基于铝和三氧化二铝复合电极的电润湿微流体系统,属于电润湿数字微流体技术领域。提供一种工艺简单且成本低廉的铝和三氧化二铝复合电极及其组成的电润湿数字微流体系统,以及制造工艺方法。采用具有良好的导电性的铝(Al)材料作为电极体,包括基底,嵌入基底内的电极、电极连接线和电极工作面的介电层,以及封闭基底上部的导电盖子,其特征是所述的电极为铝质材料,所述的介电层为与电极一体的三氧化二铝纳米层。本发明的有益效果是极大降低电极制备工艺复杂度和制造成本;介电层兼具绝缘和疏水性质,复合电极表面化学性质稳定;三氧化二铝氧化层结构可以根据需要进行人工控制。 |
