一种半导体元件抽样检测装置
基本信息
| 申请号 | CN202110784345.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113465678A | 公开（公告）日 | 2021-10-01 |
| 申请公布号 | CN113465678A | 申请公布日 | 2021-10-01 |
| 分类号 | G01D21/02（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 周海生;蒋振荣 | 申请（专利权）人 | 安徽富信半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 合肥正则元起专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 匡立岭 |
| 地址 | 243000安徽省马鞍山市郑蒲港新区金蒲电子信息产业园1＃东侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种半导体元件抽样检测装置，包含处理器、运输抽样模块、采集模块、处理计算模块、分析匹配模块和标记提示模块；所述运输抽样模块用于将半导体元件进行运输并随机抽样，得到抽样半导体元件；所述采集模块用于采集抽样半导体元件的生产信息和检测信息；所述处理计算模块用于对生产信息和检测信息进行清洗处理；对清洗处理后的各项数据进行计算，得到检分值；所述分析匹配模块用于根据检分值对抽样半导体元件进行匹配分析，得到分析数据；本发明解决了现有方案中不能根据不同类型半导体元件对检测环境进行动态调整，导致半导体元件的检测效果不佳的技术问题。 |
