一种化学品供应装置
基本信息
| 申请号 | CN201922367879.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211423996U | 公开（公告）日 | 2020-09-04 |
| 申请公布号 | CN211423996U | 申请公布日 | 2020-09-04 |
| 分类号 | F17D1/00(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 张倩;时楠 | 申请（专利权）人 | 江苏正帆半导体设备有限公司 |
| 代理机构 | 北京品源专利代理有限公司 | 代理人 | 上海正帆科技股份有限公司;江苏正帆半导体设备有限公司 |
| 地址 | 201108上海市闵行区春永路55号2幢 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种化学品供应装置，涉及半导体化学工艺技术领域。该化学品供应装置包括原料桶、泵和移动箱体。原料桶和泵均设置在移动箱体内，可方便快速地将原料送至生产现场。泵的进口和出口分别和原料桶的出口、用料设备的进料口连通，以形成供液管路。泵的进口和出口也分别和用料设备中的废液桶、外部废液贮存装置连通，以形成废液转移管路。供液管路和废液转移管路上均设置有开关阀，以控制供液管路和废液转移管路的导通和闭合，实现两个管路之间的切换。通过供液管路能够将化学品原料快速供给用料设备使用，通过废液转移管路能够将废液桶内的废液快速转移至外部废液贮存装置中，保证生产持续进行。 |
