一种气体管道的测试设备
基本信息
| 申请号 | CN202020018603.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211147965U | 公开（公告）日 | 2020-07-31 |
| 申请公布号 | CN211147965U | 申请公布日 | 2020-07-31 |
| 分类号 | G01M3/22(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 刘洋 | 申请（专利权）人 | 江苏正帆半导体设备有限公司 |
| 代理机构 | 北京品源专利代理有限公司 | 代理人 | 上海正帆科技股份有限公司;江苏正帆半导体设备有限公司 |
| 地址 | 201108上海市闵行区春永路55号2幢 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种气体管道的测试设备，属于检测设备技术领域。该气体管道的测试设备，用于对至少两个气体管道的测试，包括并联连接的抽真空单元、保压单元、检测单元和充气单元，其中，抽真空单元并列设置有多个第一通路，每个第一通路与对应的一个气体管道连接，用于相应气体管道的抽真空；保压单元并列设置有多个第二通路，每个第二通路与对应的一个气体管道连接，用于相应气体管道的保压；检测单元用于相应气体管道的气密性检测及水分、氧分及颗粒的检测；充气单元并列设置有多个第三通路，每个第三通路与对应的一个气体管道连接，用于向相应气体管道内充气。本实用新型提供的气体管道的测试设备，满足批量化生产需求，提高工作效率。 |
