一种新型图形复合对位靶标及HDI板
基本信息
申请号 | CN202110449807.3 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN113163580A | 公开(公告)日 | 2021-07-23 |
申请公布号 | CN113163580A | 申请公布日 | 2021-07-23 |
分类号 | H05K1/02 | 分类 | 其他类目不包含的电技术; |
发明人 | 孟昭光;赵南清;蔡志浩;曾国权 | 申请(专利权)人 | 东莞市五株电子科技有限公司 |
代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 张建 |
地址 | 523000 广东省东莞市石碣镇刘屋科技中路161号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种新型图形复合对位靶标及HDI板,包括环形的对位盲孔,在对位盲孔的中间开设有对位通孔,对位通孔和对位盲孔共中心点;对位通孔的外边界与对位盲孔的内边界之间形成有环形的线路图形,线路图形的外边界与对位盲孔的内边界连接,线路图形的内边界与对位通孔的外边界之间被蚀刻移除。本发明在对位靶标中不仅同时融合了对位盲孔和对位通孔,还融合了环形的线路图形,可以先同时抓取对位通孔和对位盲孔两种对位靶标,以平衡两种孔型所带来的对位偏差,提升图形对位效率,再进一步抓取环形的线路图形,通过将线路图形分别与对位通孔和对位盲孔进行对准度检查,进一步提升图形对位精度和准确度,提升图形对位效率。 |
