一种高效金刚线硅片切割液

基本信息

申请号 CN202110800196.2 申请日 -
公开(公告)号 CN113462458A 公开(公告)日 2021-10-01
申请公布号 CN113462458A 申请公布日 2021-10-01
分类号 C10M173/02(2006.01)I;C10N30/04(2006.01)N;C10N30/06(2006.01)N;C10N30/18(2006.01)N;C10N30/16(2006.01)N 分类 石油、煤气及炼焦工业;含一氧化碳的工业气体;燃料;润滑剂;泥煤;
发明人 郭熹;刘治洲;王波 申请(专利权)人 江苏捷捷半导体新材料有限公司
代理机构 南京正联知识产权代理有限公司 代理人 卢海洋
地址 226200江苏省南通市启东市科技创业园兴龙路8号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开一种高效金刚线硅片切割液,其特征在于,包括下列质量份数的组分表面活性剂20‑50份、消泡剂0.5‑15份、渗透剂10‑20份、增溶剂10‑30份、余量为去离子水,表面活性剂、渗透剂、消泡剂同为聚醚类。该硅片切割液具有优异的渗透性和润滑性,分散性好,清洗能力强大,同时,该切割液使用添加量较现有产品降低50%,能有效降低使用成本和废水处理难度。