一种高效金刚线硅片切割液
基本信息
申请号 | CN202110800196.2 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN113462458A | 公开(公告)日 | 2021-10-01 |
申请公布号 | CN113462458A | 申请公布日 | 2021-10-01 |
分类号 | C10M173/02(2006.01)I;C10N30/04(2006.01)N;C10N30/06(2006.01)N;C10N30/18(2006.01)N;C10N30/16(2006.01)N | 分类 | 石油、煤气及炼焦工业;含一氧化碳的工业气体;燃料;润滑剂;泥煤; |
发明人 | 郭熹;刘治洲;王波 | 申请(专利权)人 | 江苏捷捷半导体新材料有限公司 |
代理机构 | 南京正联知识产权代理有限公司 | 代理人 | 卢海洋 |
地址 | 226200江苏省南通市启东市科技创业园兴龙路8号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开一种高效金刚线硅片切割液,其特征在于,包括下列质量份数的组分表面活性剂20‑50份、消泡剂0.5‑15份、渗透剂10‑20份、增溶剂10‑30份、余量为去离子水,表面活性剂、渗透剂、消泡剂同为聚醚类。该硅片切割液具有优异的渗透性和润滑性,分散性好,清洗能力强大,同时,该切割液使用添加量较现有产品降低50%,能有效降低使用成本和废水处理难度。 |
