一种大尺寸硅片金刚线切割液
基本信息
| 申请号 | CN202110888249.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113549488A | 公开（公告）日 | 2021-10-26 |
| 申请公布号 | CN113549488A | 申请公布日 | 2021-10-26 |
| 分类号 | C10M173/00（2006.01）I;C10N30/04（2006.01）N;C10N30/06（2006.01）N;C10N30/12（2006.01）N;C10N30/16（2006.01）N;C10N30/18（2006.01）N | 分类 | 石油、煤气及炼焦工业；含一氧化碳的工业气体；燃料；润滑剂；泥煤; |
| 发明人 | 郭熹;刘治洲;王波 | 申请（专利权）人 | 江苏捷捷半导体新材料有限公司 |
| 代理机构 | 南通一恒专利商标代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 梁金娟 |
| 地址 | 226200江苏省南通市启东市科技创业园兴龙路8号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种大尺寸硅片金刚线切割液，所述金刚线切割液中各组分所占的质量份数为：表面活性剂20‑60份、渗透剂10‑40份、消泡剂0.5‑20份、增溶剂5‑30份、乳化剂3‑10份、分散剂0.1‑2份、余量为去离子水。本发明的优点在于：本发明提供的大尺寸硅片切割液具有优异的渗透、润滑、清洗作用，溶水后能形成稳定的水包油体系，高效的分散硅粉能力，可以避免硅粉切屑及有机残留物在设备内部的聚集，防止形成粘附，堵塞管道并可降低切割液的使用量，并可有效降低硅片清洗和废水处理难度。 |
