一种用于切片设备循环系统的金刚线切割液及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202111029710.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113736550A | 公开（公告）日 | 2021-12-03 |
| 申请公布号 | CN113736550A | 申请公布日 | 2021-12-03 |
| 分类号 | C10M173/02（2006.01）I;C10N30/06（2006.01）N;C10N30/18（2006.01）N;C10N30/04（2006.01）N;C10N10/02（2006.01）N | 分类 | 石油、煤气及炼焦工业；含一氧化碳的工业气体；燃料；润滑剂；泥煤; |
| 发明人 | 郭熹;刘治洲;王波 | 申请（专利权）人 | 江苏捷捷半导体新材料有限公司 |
| 代理机构 | 苏州言思嘉信专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 安琳 |
| 地址 | 226200江苏省南通市启东市兴龙路8号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种用于切片设备循环系统的金刚线切割液，所述金刚线切割液以重量份数计，其包括润滑剂20－30份、水溶性渗透剂10－15份、油溶性渗透剂复配物1－5份，消泡剂0.5－5份、增溶剂20－30份、乳化剂0.5－3份、分散剂0.1－2份、余量为去离子水。本发明的有益效果是，本发明金刚线切割液具有强大的清洗能力，可以有效去除硅片表面残留的油性脏污、硅粉团聚结块等，并可以避免硅粉切屑及有机残留物在设备内部的聚集，防止形成粘附，堵塞管道。 |
