一种多晶硅还原炉控温节能系统
基本信息
| 申请号 | CN201320555254.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN203498095U | 公开（公告）日 | 2014-03-26 |
| 申请公布号 | CN203498095U | 申请公布日 | 2014-03-26 |
| 分类号 | C01B33/03(2006.01)I | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | 陈宏伟;许晟 | 申请（专利权）人 | 上海美弛腾流体技术有限公司 |
| 代理机构 | 上海百一领御专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 上海森松环境技术工程有限公司;上海森松新能源设备有限公司 |
| 地址 | 200137 上海市浦东新区高翔环路562号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种多晶硅还原炉控温节能系统，包括三氯氢硅集中汽化器、氢气预热器、管道静态混合器、还原炉、硅粉过滤器、尾气控温冷却器；所述氢气预热器(2)连接到所述管道静态混合器(3)，所述三氯氢硅集中汽化器连接到所述氢气预热器管程；所述管道静态混合器连接到还原炉；所述还原炉(4)尾气出气口连接到所述尾气控温冷却器壳程高温气相入口，所述尾气控温冷却器壳程低温气相出口连接到所述氢气预热器壳程气相入口。本系统使得进料组分均匀、进料温度稳定可控，热能利用充分，合理的降低还原炉及系统的能耗，更好地控制多晶硅的生长质量。而且有效地除去尾气管道的硅粉，保护了尾气管路的阀门以及CDI系统的设备。 |
