一种探针焊接系统、探针焊接方法及探针卡

基本信息

申请号 CN202110266224.7 申请日 -
公开(公告)号 CN113001021A 公开(公告)日 2021-06-22
申请公布号 CN113001021A 申请公布日 2021-06-22
分类号 B23K26/21;B23K26/70;B23K26/03;G01N21/88;G01R31/28;G01R1/073 分类 机床;不包含在其他类目中的金属加工;
发明人 梁建;罗雄科 申请(专利权)人 上海泽丰半导体科技有限公司
代理机构 上海硕力知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 林晓青
地址 200233 上海市徐汇区田州路159号15单元1302室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明属于探针焊接领域,公开了一种探针焊接系统、探针焊接方法及探针卡,其方法包括获取基板上的目标焊盘的位置补偿信息;根据位置补偿信息将基板水平移动至加焊料添加机构的下方,且目标焊盘位于放料器的正下方;放料器释放焊料,焊料被第一激光器熔融并落在目标焊盘;根据位置补偿信息将基板水平移动至焊接机构的下方,且目标焊盘位于探针抓取件的正下方;第二激光器融化目标焊盘的焊料,探针抓取件将探针放置于目标焊盘,完成焊接。本发明通过摄像机构可修正系统的位置误差,以减少探针焊接的位置误差,提高焊接精度,通过设置焊料添加机构和焊接机构,将焊料添加与探针焊接分开进行,可提高探针焊接的稳定性,以提高良率。