一种金属件的真空镀膜方法
基本信息
| 申请号 | CN201410299957.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104060224B | 公开（公告）日 | 2016-09-14 |
| 申请公布号 | CN104060224B | 申请公布日 | 2016-09-14 |
| 分类号 | C23C14/16(2006.01)I;C23C14/30(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;C23C14/58(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 章继波 | 申请（专利权）人 | 北海市城市建设投资发展有限公司 |
| 代理机构 | 广州市越秀区哲力专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 汤喜友 |
| 地址 | 518000 广东省深圳市宝安区石岩街道石龙社区石龙居委民营路惠科工业园四栋 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种金属件的真空镀膜方法，将金属件放置于真空室内，采用真空镀膜方法在金属件表面上沉积一层金属薄膜。所述金属件为铝材料，所述金属靶材为铝材料；镀膜工艺参数如下：真空度为3×10?3Pa?5×10?3Pa,金属件预热温度为70?150℃，施加于金属靶材上的负电压为200?1000V,沉积时间为50?120分钟,金属薄膜的厚度为50μm?80μm；采用本发明所述方法处理后的金属薄膜均匀并且附着力好,增强了产品表面镀层的耐磨性及耐腐蚀性。 |
