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载料平台及其加工方法和热压装置

基本信息

申请号 CN202111113204.2 申请日 -
公开（公告）号 CN113571454B 公开（公告）日 2022-07-12
申请公布号 CN113571454B 申请公布日 2022-07-12
分类号 H01L21/673（2006.01）I;H01L21/683（2006.01）I;H01L21/687（2006.01）I;B23P15/00（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 李立辉;范杰;李良;廖玉红;刘思文 申请（专利权）人 东莞联鹏智能装备有限公司
代理机构 华进联合专利商标代理有限公司 代理人 -
地址 523713广东省东莞市塘厦镇塘厦大道南217A号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种载料平台及其加工方法和热压装置，该载料平台包括承料台和隔热板，所述隔热板设置于所述承料台用于承托产品的一侧，并用于隔绝热量传递至所述承料台，其中，所述隔热板的热膨胀系数小于6*10‑7/℃，所述隔热板的导热系数小于1.6 W/mK。通过隔热板的设置，减少热量由热压头传递至承料台。上述载料平台通过隔热板的设置，减少热量由热压头传递至承料台。使得热压头的热量仅汇聚在热压头的下方，而不会扩散至整个载料平台，从而保证热压后的产品质量。