无水氢氟酸尾气处理装置
基本信息
| 申请号 | CN202021387647.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213132570U | 公开（公告）日 | 2021-05-07 |
| 申请公布号 | CN213132570U | 申请公布日 | 2021-05-07 |
| 分类号 | B01D53/18(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 骆彦成;刘奕丰;任建业;胡侃中;吴全贵 | 申请（专利权）人 | 福建天甫电子材料有限公司 |
| 代理机构 | 厦门原创专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 徐东峰 |
| 地址 | 364000福建省龙岩市上杭县蛟洋镇坪埔村新村路71号3层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供了一种无水氢氟酸尾气处理装置，包括：常压尾气收集管；喷射器，其进气端与所述常压尾气收集管连接；带压尾气收集管；石墨降膜吸收器，其进气端分别与所述带压尾气收集管以及所述喷射器的出气端连接，所述石墨降膜吸收器还包括一与废气处理单元连接的出气口；设置于所述石墨降膜吸收器外部的冷却循环管路；增浓槽，其顶部的进液口与所述石墨降膜吸收器的出液口相连接，其底部的出液口与回收管路连接。 |
