一种声表面波器件及其制作方法
基本信息
| 申请号 | CN201910887995.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112448689A | 公开（公告）日 | 2021-03-05 |
| 申请公布号 | CN112448689A | 申请公布日 | 2021-03-05 |
| 分类号 | H03H9/02(2006.01)I | 分类 | 基本电子电路; |
| 发明人 | 李勇;朱卫俊;何朝峰;黄亮;马杰;王祥邦;周陈程;沈得田;林毅 | 申请（专利权）人 | 中电科技德清华莹电子有限公司 |
| 代理机构 | 杭州丰禾专利事务所有限公司 | 代理人 | 王鹏举 |
| 地址 | 313200浙江省湖州市武康志远北路188号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种声表面波器件，包括压电衬底、制作在压电衬底表面的金属电极结构，压电衬底表面上至少有一个有效声表面波传输通道区域边缘镶嵌有金属体，作为声表面波声波导的侧壁；本发明提出一种构造压电衬底表面横向抑制声波导的新技术：在压电衬底表面镶嵌金属体，作为声表面波声波导的硬侧壁，利用表面镶嵌金属体对传输的声表面波反射、衍射和压电短路效应，直接在压电衬底表面制作出器件所需要的声表面波传输声道，引导声表面波按设计规范传输。 |
