一种硅片清洗装置
基本信息
| 申请号 | CN201620973422.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN206076206U | 公开（公告）日 | 2017-04-05 |
| 申请公布号 | CN206076206U | 申请公布日 | 2017-04-05 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 李杰;周立钢 | 申请（专利权）人 | 温州博乐工业设计有限公司 |
| 代理机构 | 北京富天文博兴知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 温州博乐工业设计有限公司 |
| 地址 | 325000 浙江省温州市鹿城区学院中路7号D幢102室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种硅片清洗装置，其中，包括清洗系统、清洗液循环系统和水循环系统，所述清洗系统包括洗涤槽，所述洗涤槽内具有清洗腔和漂洗腔，所述清洗液循环系统和清洗腔贯通连接，所述水循环系统和漂洗腔贯通连接，所述洗涤槽的侧壁上设置有若干个上喷头，所述洗涤槽的底面上设置有若干个下喷头，所述洗涤槽中间的隔离架的两侧均可拆卸设置有硅片夹，所述隔离架一侧的硅片夹向下延伸到清洗腔内，所述隔离架另一侧的硅片夹向下延伸到所述和漂洗腔内。由于本实用新型具有清洗系统、清洗液循环系统和水循环系统，使得本实用新型清洗效率高且节约水资源。 |
