一种旋转靶靶材分节绑定装置
基本信息
| 申请号 | CN202021431266.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213570710U | 公开（公告）日 | 2021-06-29 |
| 申请公布号 | CN213570710U | 申请公布日 | 2021-06-29 |
| 分类号 | C23C14/34（2006.01）I;C23C14/32（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 叶志南;温艳玲 | 申请（专利权）人 | 河北冠靶科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京化育知识产权代理有限公司 | 代理人 | 尹均利 |
| 地址 | 050000河北省石家庄市兴业街与火炬路交叉口西北角 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及靶材技术领域，具体为一种旋转靶靶材分节绑定装置，包括靶材前管和靶材后管，靶材前管靠近靶材后管的一端固定连接有凸起，凸起的表面一周固定连接有螺纹，靶材后管靠近靶材前管的一端中部开设有安装槽，安装槽的外形尺寸与凸起的外形尺寸一致，靶材前管与靶材后管通过凸起的表面一周的螺纹与安装槽的内壁螺纹连接形成一个整体，靶材前管与靶材后管远离连接处的一端均贯穿开设有通孔，且通孔与靶材前管和靶材后管形成的壁厚为五公分，靶材前管与靶材后管的内壁固定连接有浇口，通过将靶材分成为两个部分，在靶材前管上的凸起与设置在凸起上的螺纹与靶材后管设置的安装槽连接而成，这样在检修安装拆卸时更为方便。 |
